ASML, geleceğin çip üretim süreçleri için aşırı ultraviyole (EUV) litografi sistemlerinin optik yapısını geliştirmeyi planlıyor. Gündemdeki adımlardan biri, aynaların ışığı toplama ve odaklama kapasitesini artırmak. Böylece silikon plakalar üzerine daha ince devre desenleri işlenebilecek. Ancak bu, mevcut makinelerde hemen uygulanacak bir değişiklikten çok, ilerideki üretim süreçlerine yönelik bir çalışma. EUV sistemlerinde ışığı yönlendirmek için mercekler…